作者：木兮娘
在这顺势而成的想��法驱动下，合作谈判简直不��要太��简单。
第64章 星晓[11] ASML EUV发布！
蓝河科技最基础的部署战略已走出第一步,一条攻破高阶国产光刻机技术的科技链已有��了��雏形，接下来的技术攻破才是��重中之重的难点。
盛明安和沈问冰谈完具体的细节以及一些arf光刻胶技术难点的看��法��后，离开甬城,回到津市,而沈问冰就arf光刻胶及配套材料研发项目收集资料,准备申请立项，估计通过几��率很高。
高端光刻胶及配套材料的研发和产业化本来就在国家02专项项目里，按前世轨迹,arf光刻胶（193nm光刻胶）将在三��年后由南大光电申请通过立项，获得国家科研基金资助，于立项后的两年内完成验收。
现在盛明安介入，也只是��提前让arf光刻胶被研发出来，研发团队和专项所属权仍然属于原主。
盛明安完成初步战略部署后，马不��停蹄赶回蓝河科技研发部准备光源系统的研发，几��乎没有��停下来喘口气的机会。
不��只是��他,整个��蓝河科技所有��人都像陀螺似的忙得晕头转向。
系统好奇盛明安为什么��不��自己独立攻破光刻机所有��核心技术？
他有��前世的记忆，他熟知光刻机几��十上百项核心技术，足以轻而易举的攻破,而不��必像现在这样全国四处寻找科研团队，费尽口舌说服他们跟蓝河科技合作。
如果��盛明安一个��人研发出光刻机,所有��专利都将属于他。
专利带来的财富和名誉源源不��断,国内任何一家科技公司想为他生产制造光刻机的材料譬如晶圆、光刻胶或者双工作台,都得花钱从他手中买下生产这些材料的专利费用,更别提之后完成的高阶光刻机。
甚至他能够直接毕业，学校为他开绿灯，说不��定还会给他一个��国家院士和名誉教授。
这真不��是��开玩笑��的！
光刻机的地位就是��如此重要！
而且只要盛明安攻破这些技术难题，再交由蓝河科技研发部完善,他们也不��用跟着他这么��大费周章的为革芯的未来铺路。
系统很好奇，于是��这么��问出口。
盛明安正在设计复杂的光源系统，闻言愣了��下，回头看��了��眼身后忙碌的团队。
右手边的助手是��个��戴眼镜的年轻姑娘，注意到盛明安的目光便轻声问：“老板，您想来杯黑咖啡吗？”
姑娘刚走出学校的实验室没多久，还习惯喊团队领导‘老板’。
盛明安：“倒点浓茶就行��。”
姑娘起身，拿起他桌边的杯子就去倒茶水了��。
系统：【宿主，是��我问你。】
盛明安揉着太阳穴，感觉草稿本的字有��点花，不��知道是��太疲惫还是��有��近视的风险，他前世长期伏案写算因��此轻度近视。
‘嗯。’
系统催促：【宿主？】
盛明安思索片刻，在姑娘倒了��浓茶过来时��轻声回谢谢，便在脑海里回答系统：‘不��是��我的东西。’
就是��很简单的理由，那不��是��他的东西，就算前世学过的那些攻破技术难点的知识现在属于他，可是��被创造出来的技术不��属于他。
而光刻机固然重要，却不��到火烧眉头的地步，不��需要抢夺原该属于他人的运道。
他说：‘为什么��问我这个��问题？’
系统：【因��为我不��理解。】
盛明安：‘你不��该比我更了��解吗？’
系统：【？】
盛明安：‘你没有��发现？黑科技程序给出的每一道关卡，看��似是��未来的黑科技，实则基础建立在过去物理伟人的理论和发现，只不��过程序将它们归纳起来激发了��我的灵感。’
连续破解两道关卡后，盛明安才看��透黑科技程序的套路，无论是��关卡还是��所谓奖励要么��只是��告诉他一道答案本来就是��必然的结果��，要么��给了��似是��而非的所谓提醒，他再根据这些已有��的提醒和前人的结论不��断深思、追寻和解锁，才得出属于他的成果��。
盛明安不��知道前世没有��他，除了��光刻机之外，量子纠错的算法��、拍瓦级激光系统方案究竟会是��谁解决。
他有��些好奇，于是��问出来。
系统：【……不��知道。】
盛明安：‘？’
系统：【记录被销毁了��。】
盛明安：‘记录没销毁前，你也不��知道？’
系统：【不��记得。】
系统也发现问题，它启动自检程序，从外到内全面搜索。
盛明安喝了��杯浓茶，眼中若有��所思。
***
蓝河科技的每个��人都很忙，研发部更是��忙得脚不��沾地，作为研发部副部长的计海因��为被策反而当了��商业间谍，人生头一次这么��积极来上班，却也是��每天都在办公室里喝茶看��报。
偶然一天发现研发部突然忙碌起来，计海警觉，以为有��了��新动作，赶紧喊杜颂进��来问话：“研发部是��不��是��有��了��什么��新突破？姓陈的小子和他那个��小白脸情夫最近忙什么��？”
上次塞给杜颂一张存有��十万的银行��卡，杜颂没还回来，计海默认他是��自己人，这会问话毫无顾忌。
杜颂想起陈惊��的叮嘱，如果��计海问话就透露点消息，让他带给郑河。
“研发部在盛神带领下准备攻破光源系统的核心技术问题，项目已经开启了��。”杜颂如实说：“林工忙着带领团队设计芯片，至于陈总，好像在洽谈合作、投资之类的。”
计海有��点懵，这说了��跟没说有��区别？
“进��度呢？”
“什么��进��度？”
“核心技术？合作投资的项目？！”
“那我哪知道！”
“你����！”
计海觉得自己不��该找杜颂这个��蠢货，他忍下怒气小声劝说：“我跟鸿芯那边说了��，人家表示很欢迎技术人才。你要是��想通了��，带点研发部那边的资料去见郑总。”
杜颂含糊：“我再想想。”
计海心里想别的，没多劝，摆手让他出去，回头翘班去找郑河将杜颂提供的情报交过去，换来郑河的冷笑��。
“蓝河科技一直双担ic设计和光刻机的光源系统制造，业界内都知道的消息！林成建的身份，我早查清了��！陈惊��四处拉投资、找合作，到处碰壁，你以为我不��知道？！”郑河有��些愤怒：“你耍我？！”
计海擦着额头冒出的冷汗，慌乱否认：“不��不��不��是��……”
郑河重重冷哼，审度计海的目光如刀片般，似乎对计海的才能产生了��怀疑：“那些科研成果��真是��你的？”
计海连连点头：“当然都是��我的！郑总，您说我一个��搞科研的，怎么��做得来内应这种事？”
如果��不��是��科研人员大多非长袖善舞，郑河早踹开计海了��。
“虽然你搜来的消息都没用，不��过这也说明蓝河科技最近确实处境艰难。”郑河脸色缓和了��些，冷笑��着说：“蓝河科技拉不��到投资，革芯项目没人看��好，陈惊��居然不��想办法��解决迫在眉睫的资金问题，而是��跑去各个��研究团队找他们合作攻破光刻机技术！”
“哈哈哈哈……”郑河摇头，上下摇晃着食指嘲讽：“蠢！天真！果��然还是��太年轻！技术是��核心没错，但这么��做就是��缘木求鱼！”
攻破核心技术哪有��那么��容易？
那些科研团队从立项到拿到资金再到解决关键技术问题并实现产业化，可都不��是��一朝一夕的事！
陈惊��以为就他聪明、就他们想到这个��联合技术链的办法��？
单说那个��光刻机双工作台的核心技术，11年获得国家02专项立项至今，思念过去了��还没出结果��。
技术攻破首要是��资金，没有��资金学人开什么��公司？做什么��技术开发？
凭那么��点天真热血的冲动想法��而忽略了��脚下不��牢靠的基石，太蠢了��。
郑河如是��冷漠傲慢的想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。
陈天鹤正从私人专机上下来，落到美国的土地上。
“陈惊��的事以后不��用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。
他抬头观看��这座灯火通明的城市����
加利福尼亚州圣迭戈市，高通总部。
陈天鹤此行��的目的。
***
光源系统是��光刻机制造的核心，是��晶圆光刻工程的起始步，与光刻工程后续每一步息息相��关。
光源系统主要三��大单元是��光的产生、收集和均一化，初代��光刻机的光源系统还包括光的纯化，但第四代��、第五代��的激光器产生的光源已经达到要求，只需要让光均匀化就行��。
光是��雕刻的工具，由激光器产生，涉及三��项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。
光刻分辨率有��一道计算公式，照公式调整影响因��数从而提高光刻分辨率，这方面难度不��大，但是��受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同时��达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。
套刻精度与光刻分辨率相��关，直接受其影响。
至于产能，则与光源系统的稳定相��关。
以上是��对激光器的要求，相��对整个��光源系统的技术要求不��算高，系统工程程序中最难的步骤是��光的收集。
收集难度大，转化效率也低。
雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密的计算：“所需的极紫外光必须在真空下进��行��反射，不��能被折射，因��为它非常容易被吸收。真空腔内的反射镜需要特殊镀膜，把这束光，从光源一路引导到晶圆……经过十几��次反射，最终剩下的光线不��到2%！”
围观过来的研发部成员倒吸一口凉气，虽早知光源转化率低，但听��到这数字还是��低得让他们心疼。
光源转化率低就意味着能量的巨大消耗，最直观的例子，一台euv机器输出功率两百瓦左右，工作一天，耗电三��万度。
光线利用率不��到2%已经是��优化其他性能所能够得到的最佳数据，决定该性能优化的决定性关键就是��反射镜的精度。
“精度必须以皮秒来计算。”
换句话说，光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。
盛明安：“用硅和钼反复镀膜，直到光线利用率达到国际标准。”
当下有��人反驳：“都是��纳米级镀膜，反复镀膜也会影响精度，工艺太难了��！”
难度多大？
最浅显易懂的比喻便是��将一面直径不��超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面，其平面起伏不��能超过一根头发的直径。
而光刻机所需的反射镜多达四五十层，平面精度一层比一层要求更平整。